14オングストロームプロセス!?:
IMECの半導体ロードマップ展望 (1/3)
http://eetimes.jp/ee/spv/1705/24/news048.html
IMECのプロセス技術関連のベテラン専門家であるAnSteegen氏が、
2017年の半導体ロードマップを発表し、
半導体プロセスの微細化に対し楽観的な見方を示した