■「ムーアの法則」延命へ　半導体微細化、限界打破に光明
http://mw.nikkei.com/sp/#!/article/DGXMZO20450840Y7A820C1000000/

ごく最近になって、10年以上も前から期待されていた
「EUVリソグラフィー」による量産化に現実味が出てきたことで、
半導体メーカー各社が一斉に微細化のロードマップを更新した
ムーアの法則が少なくとも今後10数年、
"1.4nm（ナノメートル）世代"まで続くとする見方も出てきた